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北方华创 eVictor系列 12英寸通用物理气相沉积系统
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北方华创 eVictor系列 12英寸通用物理气相沉积系统

eVictor系列 12英寸通用物理气相沉积系统 eVictor Series 12 Inch PVD System eVictor系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统主要由大气平台，真空传输平台，去气腔室，预清洁腔室和工艺腔室组成，设备采用Cluster Tool架构，可配置多个工艺腔室、预清洗腔室和去气腔室，其中工艺腔室可根据客户选择配置不同工艺材料的腔室。eVictor系列PVD设备具有反应腔

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北方华创 eVictor系列 12英寸通用物理气相沉积系统 产品图 1
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