北方华创 HSE D300 等离子切割刻蚀机
北方华创 企业级IT产品 e企观

北方华创 HSE D300 等离子切割刻蚀机

北方华创HSE D300 等离子切割刻蚀机

参数规格

共 20 项
产品名称 HSE D300 等离子切割刻蚀机
产品系列 企业级IT产品
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产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络
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设备特点 配备立体高密度双等离子源,腔室内等离子密度和分布可调。 更高的芯片切割效率(并行切割),更优秀的颗粒及良率表现,无损伤切割。 全自动化软件控制,调度智能,满足高产能。 低拥有成本和运营成本。
产品应用 晶圆尺寸 380mm Frame及以下 适用领域 先进封装 适用工艺 深硅等离子切割 适用材料 硅、氧化硅、氮化硅
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办公地址 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
产品特点 产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络
产品特点 等离子刻蚀设备 Etch
产品特点 物理气相沉积设备 PVD
产品特点 化学气相沉积设备 CVD
产品特点 立式炉管设备 Vertical Furnace
产品特点 离子注入设备 Implant
资料来源 企业官网产品页 https://www.naura.com/product/details_15_2472.html

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