北方华创 Landscape A 12英寸等离子体浸没离子注入机
北方华创 企业级IT产品 e企观

北方华创 Landscape A 12英寸等离子体浸没离子注入机

北方华创Landscape A 12英寸等离子体浸没离子注入机

参数规格

共 20 项
产品名称 Landscape A 12英寸等离子体浸没离子注入机
产品系列 企业级IT产品
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产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络
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设备特点 高精度的能量控制和剂量控制系统 高精度的wafer均匀性控制系统 稳定的传输系统和优异的工艺流程 先进的高剂量&低能量离子注入能力
产品应用 晶圆尺寸 12英寸 适用材料 硼、磷 适用工艺 多晶硅栅极掺杂、源级/漏级掺杂、源级/漏级接触掺杂、H钝化、3D结构掺杂等 适用领域 集成电路、新兴应用
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办公地址 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
产品特点 产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络
产品特点 等离子刻蚀设备 Etch
产品特点 物理气相沉积设备 PVD
产品特点 化学气相沉积设备 CVD
产品特点 立式炉管设备 Vertical Furnace
产品特点 离子注入设备 Implant
资料来源 企业官网产品页 https://www.naura.com/product/details_15_2458.html

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