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3080D系列 12英寸单片清洗设备 3080D Series 12 Inch Single Wafer Clean Tool 用于集成电路,先进封装、新兴应用等领域12英寸后段清洗工艺,支持正反面多种化学品应用。采用多片式传输系统保障高效工艺产出;精密的腔室及卡盘设计支持超高的化学品回收效率;搭载热异丙醇(IPA)干燥技术,实现良好的干燥效果。