企业级IT与信创国产化深度观察 | 大观视界
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参数规格
共 20 项| 产品名称 | 3080D系列 12英寸单片清洗设备 |
|---|---|
| 产品系列 | 企业级IT产品 |
| 官方介绍 | 3080D系列 12英寸单片清洗设备 3080D Series 12 Inch Single Wafer Clean Tool 用于集成电路，先进封装、新兴应用等领域12英寸后段清洗工艺，支持正反面多种化学品应用。采用多片式传输系统保障高效工艺产出；精密的腔室及卡盘设计支持超高的化学品回收效率；搭载热异丙醇（IPA）干燥技术，实现良好的干燥效果。 |
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| 产品&服务 | 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络 |
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| 设备特点 | 精密的腔室微环境控制能力 稳定的供液系统 支持晶圆正反面多种化学品工艺 高效的多种化学品回收效率（可支持4种） 搭配高温IPA干燥技术适配先进工艺 |
| 12英寸单片清洗设备 | 联系咨询 / 公司名称 |
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| 办公地址 | 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |
| 产品特点 | 产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络 |
| 产品特点 | 等离子刻蚀设备 Etch |
| 产品特点 | 物理气相沉积设备 PVD |
| 产品特点 | 化学气相沉积设备 CVD |
| 产品特点 | 立式炉管设备 Vertical Furnace |
| 产品特点 | 离子注入设备 Implant |
| 资料来源 | 企业官网产品页 https://www.naura.com/product/details_15_2418.html |
参数由厂商公开资料整理，实际以产品实物及官方说明为准。
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