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北方华创 Cygnus Optima Prime 介质薄膜沉积系统
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北方华创 Cygnus Optima Prime 介质薄膜沉积系统

Cygnus Optima Prime 介质薄膜沉积系统 Cygnus Optima Prime PECVD System Cygnus Optima Prime产品是一款针对以硅烷为反应物制备氧化硅/氮化硅/氮氧化硅/碳氧化硅薄膜的化学气相沉积设备，适用于集成电路、功率半导体等领域，可实现对12英寸晶圆的全自动化工艺处理。该系统采用标准化的传输系统和模块化的工艺腔室设计，配置灵活、工艺窗口宽、功

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北方华创 Cygnus Optima Prime 介质薄膜沉积系统 产品图 1
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