企业级IT与信创国产化深度观察 | 大观视界
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参数规格
共 19 项| 产品名称 | Cygnus Optima Prime 介质薄膜沉积系统 |
|---|---|
| 产品系列 | 企业级IT产品 |
| 官方介绍 | Cygnus Optima Prime 介质薄膜沉积系统 Cygnus Optima Prime PECVD System Cygnus Optima Prime产品是一款针对以硅烷为反应物制备氧化硅/氮化硅/氮氧化硅/碳氧化硅薄膜的化学气相沉积设备，适用于集成电路、功率半导体等领域，可实现对12英寸晶圆的全自动化工艺处理。该系统采用标准化的传输系统和模块化的工艺腔室设计，配置灵活、工艺窗口宽、功能集成度高，各项工艺技术指标均达到国际先进水平。 |
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| 办公地址 | 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |
| 产品特点 | 产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络 |
| 产品特点 | 等离子刻蚀设备 Etch |
| 产品特点 | 物理气相沉积设备 PVD |
| 产品特点 | 化学气相沉积设备 CVD |
| 产品特点 | 立式炉管设备 Vertical Furnace |
| 产品特点 | 离子注入设备 Implant |
| 资料来源 | 企业官网产品页 https://www.naura.com/product/details_15_2442.html |
参数由厂商公开资料整理，实际以产品实物及官方说明为准。
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