北方华创 eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统
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北方华创 eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统

eVictor系列 8英寸通用物理气相沉积系统 eVictor Series 8 Inch General PVD System eVictor系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统主要由真空传输平台,去气腔室(Degas),预清洁腔室和工艺腔室组成,设备采用Cluster Tool架构,可配置多个工艺腔室、预清洗腔室和去气腔室,其中工艺腔室可根据客户选择进行配置。eVictor系列PVD设备具有反应

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北方华创是企业IT与信创领域的企业,官方网站为 https://www.naura.com/。本页企业信息与产品参数均采自该企业官网公开页面,并在参数表末尾标注「资料来源」;未经多源核实的工商注册字段一律留空,不做推测。 官网自述:七星电子更名为北方华创科技集团股份有限公司,完成了内部业务及资产的整合,推出全新品牌“北方华创”(NAURA),形成了以北方华创科技集团股份有限公司为总部,下属北京北方华创微电子装备有限公司、北京北方华创真空技术有限公司……

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