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北方华创 iTops A230Ⅱ PVD AlN铝溅射系统
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北方华创 iTops A230Ⅱ PVD AlN铝溅射系统

设备特点 极高的加热能力、精确的温度控制、优异的真空能力 高晶体质量的氮化铝薄膜及优异的薄膜厚度均匀性 占地面积小，结构简单，操作灵活，维修方便 设备稳定，稼动率高，运营成本低 产品应用 晶圆尺寸 2/4/6 英寸兼容 适用材料 氮化铝 适用工艺 氮化铝缓冲层溅射 分享我们： 微信扫一扫

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北方华创 iTops A230Ⅱ PVD AlN铝溅射系统 产品图 1
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