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北方华创 Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统
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北方华创 Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统

Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统 Polaris Series 8 Inch General PVD System Polaris 系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统主要由真空传输平台，去气腔室，预清洁腔室和工艺腔室组成，设备采用Cluster Tool架构，可配置多个工艺腔室、预清洗腔室和去气腔室，适合封装领域薄膜制备大规模生产。Polaris 系列PVD为全自动大产能设备，具有w

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北方华创 Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统 产品图 1
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