企业级IT与信创国产化深度观察 | 大观视界
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参数规格
共 21 项| 产品名称 | Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统 |
|---|---|
| 产品系列 | 企业级IT产品 |
| 官方介绍 | Polaris系列 8英寸通用物理气相沉积系统 Polaris Series 8 Inch General PVD System Polaris 系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统主要由真空传输平台，去气腔室，预清洁腔室和工艺腔室组成，设备采用Cluster Tool架构，可配置多个工艺腔室、预清洗腔室和去气腔室，适合封装领域薄膜制备大规模生产。Polaris 系列PVD为全自动大产能设备，具有wafer自动传输，工艺去气，晶片表面预清洁、薄膜沉积完全自动化等特点。 |
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| 产品&服务 | 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络 |
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| 设备特点 | 多种材料膜层工艺能力，低损伤，高深宽比填充能力 独立工艺腔室，最多可支持6个工艺模块 优异的温度，颗粒控制能力 配置灵活、大产能、低运营成本 |
| 产品应用 | 晶圆尺寸 6、8 英寸 适用材料 银、钨化钛、金、铂、钛、氮化钛、铝等 适用工艺 金属电极、背面金属化工艺等 |
| 8英寸通用物理气相沉积系统 | 联系咨询 / 公司名称 |
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| 办公地址 | 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |
| 产品特点 | 产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络 |
| 产品特点 | 等离子刻蚀设备 Etch |
| 产品特点 | 物理气相沉积设备 PVD |
| 产品特点 | 化学气相沉积设备 CVD |
| 产品特点 | 立式炉管设备 Vertical Furnace |
| 产品特点 | 离子注入设备 Implant |
| 资料来源 | 企业官网产品页 https://www.naura.com/product/details_15_2451.html |
参数由厂商公开资料整理，实际以产品实物及官方说明为准。
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