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北方华创 Polaris Ascella系列 12英寸钛及氮化钛薄膜沉积系统
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北方华创 Polaris Ascella系列 12英寸钛及氮化钛薄膜沉积系统

Polaris Ascella系列 12英寸钛及氮化钛薄膜沉积系统 Polaris Ascella Series 12 Inch Ti&TiN Film Deposition System Polaris Ascella系列CVD/ALD金属薄膜沉积设备可用于沉积金属钛与氮化钛，系统主要由大气平台、真空传输平台、工艺腔室组成，采用8K平台，最多可配置6个工艺腔室，可根据客户需求灵活配置腔室数量。

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北方华创 Polaris Ascella系列 12英寸钛及氮化钛薄膜沉积系统 产品图 1
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