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北方华创 Pollux Luxon HTUV 低/超低介电常数薄膜紫外处理系统
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北方华创 Pollux Luxon HTUV 低/超低介电常数薄膜紫外处理系统

Pollux Luxon HTUV 低/超低介电常数薄膜紫外处理系统 Pollux Luxon HTUV UV Cure System Pollux Luxon HTUV产品是一款针对后段紫外固化处理薄膜的化学气相沉积设备，适用于集成电路、功率半导体等领域，可实现对12英寸晶圆的全自动化工艺处理。该系统采用标准化的传输系统和模块化的工艺腔室设计，配置灵活、工艺窗口宽、功能集成度高，各项工艺技术指标

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北方华创 Pollux Luxon HTUV 低/超低介电常数薄膜紫外处理系统 产品图 1
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