苏州纳米院8英寸晶圆深硅刻蚀设备第三次招标评标结果公示，合肥微芸列第一候选人
要点
中国国际招标网（机电产品招标投标电子交易平台）公示信息显示，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司"深硅刻蚀设备采购（第三次）"国际公开招标已完成评标，该项目面向晶圆制造环节的深硅刻蚀设备，公示于 2026 年 10 月 27 日 17:06 开始，至 10 月 30 日 23…
中国国际招标网（机电产品招标投标电子交易平台）公示信息显示，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司”深硅刻蚀设备采购（第三次）”国际公开招标已完成评标，该项目面向晶圆制造环节的深硅刻蚀设备，公示于 2026 年 10 月 27 日 17:06 开始，至 10 月 30 日 23:59 截止。
该项目的招标项目编号为 0675-264JOC108250，招标范围为深硅刻蚀设备，招标机构为江苏海外集团国际工程咨询有限公司。招标文件显示，本项目采购深硅刻蚀设备 1 台，最高限价为 1000 万元人民币（含税），开标时间为 2026 年 10 月 14 日 14:30，开标地点为苏州市高新区资管大厦 8 楼开标室。
评标结果公示的中标候选人名单共两家：第一名为合肥微芸半导体科技有限公司，制造商为微芸科技，制造商国别及地区为中国；第二名为上海邦芯半导体科技有限公司，制造商为其自身，国别及地区为中国。
这已是该项目第三次组织招标。同一招标人此前进行的”深硅刻蚀设备采购”（招标项目编号 0675-264JOC108188）于 2026 年 9 月 15 日开标，9 月 16 日发布的评标结果公示显示”中标候选人名单：无中标人”；随后项目以”第三次”名义重新发布国际招标公告，招标文件领购期为 2026 年 9 月 22 日至 9 月 30 日。
从招标文件设定的资格条件看，该项目对设备商的量产履历提出了明确要求：投标人须在 2022 年至今于晶圆制造行业出售同类型深硅刻蚀设备不少于 5 台，并提供合同或订单等证明文件；投标货物须为全新设备且为成熟产品，近三年内无重大运行事故；本项目不接受联合体投标，也不接受转包。
需要说明的是，截至发稿，该项目处于评标结果公示阶段，公示名单为中标候选人排序，最终中标人及中标金额以招标人后续发布的中标结果公告为准。公示期内，投标人及其他利害关系人可按招标投标相关规定提出异议。
