北方华创 ACE E300 高选择比刻蚀机 是什么产品?
北方华创 ACE E300 高选择比刻蚀机 是北方华创的产品,属于企业级IT产品类别。它的定位是:ACE E300 高选择比刻蚀机 ACE E300 High Selectivity Etcher ACE E300 …。本页收录 21 项官方参数。
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北方华创 ACE E300 高选择比刻蚀机 是北方华创的企业级IT产品,主要配置为产品名称 ACE E300 高选择比刻蚀机;产品系列 企业级IT产品;官方介绍 ACE E300 高选择比刻蚀机 ACE E300 High Se…。本页收录 21 项官方参数,可逐项查看规格、图片、相关评测与厂商信…
ACE E300 高选择比刻蚀机 ACE E300 High Selectivity Etcher ACE E300 刻蚀设备面向12英寸后摩尔时代逻辑芯片与 3D 结构制程场景,整机搭载超高效率离子过滤硬件模块实现粒子能量精准管控。依托离子过滤精密能量调控核心技术,兼容硅、介质、金属多类薄膜刻蚀及 3D 横向刻蚀工艺,达成超高刻蚀选择比,实现底层/停阶层零等离子损伤,搭配OES Plus监测腔室稳定性,控制刻蚀速率、保障批量工艺一致性。设备实现粒子能量精准可调、超高工艺选择比、底层材料低损伤、批次工艺高重复稳定的核心性能指标,可满足各类高精度刻蚀严苛制程要求。
| 产品名称 | ACE E300 高选择比刻蚀机 |
|---|---|
| 产品系列 | 企业级IT产品 |
| 官方介绍 | ACE E300 高选择比刻蚀机 ACE E300 High Selectivity Etcher ACE E300 刻蚀设备面向12英寸后摩尔时代逻辑芯片与 3D 结构制程场景,整机搭载超高效率离子过滤硬件模块实现粒子能量精准管控。依托离子过滤精密能量调控核心技术,兼容硅、介质、金属多类薄膜刻蚀及 3D 横向刻蚀工艺,达成超高刻蚀选择比,实现底层/停阶层零等离子损伤,搭配OES Plus监测腔室稳定性,控制刻蚀速率、保障批量工艺一致性。设备实现粒子能量精准可调、超高工艺选择比、底层材料低损伤、批次工艺高重复稳定的核心性能指标,可满足各类高精度刻蚀严苛制程要求。 |
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| 设备特点 | 配备超高效率离子过滤技术,精准调控反应粒子能量分布。 超高刻蚀选择比,实现底层/停阶层敏感材料的零损伤。 精确刻蚀速率控制保障产线良率。 配备OES Plus监测腔室稳定性,确保批次运行的高重复性。 |
| 产品应用 | 晶圆尺寸 12" 适用领域 集成电路 适用工艺 硅刻蚀、多晶硅刻蚀、浅槽隔离刻蚀、Low-k刻蚀 适用材料 硅、氧化硅、氮化硅 |
| 高选择比刻蚀机 | 联系咨询 / 公司名称 |
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| 办公地址 | 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |
| 产品特点 | 产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络 |
| 产品特点 | 等离子刻蚀设备 Etch |
| 产品特点 | 物理气相沉积设备 PVD |
| 产品特点 | 化学气相沉积设备 CVD |
| 产品特点 | 立式炉管设备 Vertical Furnace |
| 产品特点 | 离子注入设备 Implant |
| 资料来源 | 企业官网产品页 https://www.naura.com/product/details_15_2469.html |
北方华创是企业IT与信创领域的企业,官方网站为 https://www.naura.com/。本页企业信息与产品参数均采…
北方华创 ACE E300 高选择比刻蚀机 是北方华创的产品,属于企业级IT产品类别。它的定位是:ACE E300 高选择比刻蚀机 ACE E300 High Selectivity Etcher ACE E300 …。本页收录 21 项官方参数。
本站企业级IT产品分类下还有 北方华创 iTops i233 PVD ITO溅射系统、北方华创 GSE C200 多功能刻蚀机、北方华创 BMD P300 微波等离子体表面处理系统、北方华创 HSE D300 等离子切割刻蚀机 等型号,都可以在产品库里按参数逐项对比。共收录该类产品 333 款。
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北方华创 ACE E300 高选择比刻蚀机 由北方华创推出,官方型号写作 ACE E300 高选择比刻蚀机。厂商官网:https://www.naura.com/。
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