北方华创 ACE E300 高选择比刻蚀机
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北方华创 ACE E300 高选择比刻蚀机

ACE E300 高选择比刻蚀机 ACE E300 High Selectivity Etcher ACE E300 刻蚀设备面向12英寸后摩尔时代逻辑芯片与 3D 结构制程场景,整机搭载超高效率离子过滤硬件模块实现粒子能量精准管控。依托离子过滤精密能量调控核心技术,兼容硅、介质、金属多类薄膜刻蚀及 3D 横向刻蚀工艺,达成超高刻蚀选择比,实现底层/停阶层零等离子损伤,搭配OES Plus监测腔室

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ACE E300 高选择比刻蚀机 ACE E300 High Selectivity Etcher ACE E300 刻蚀设备面向12英寸后摩尔时代逻辑芯片与 3D 结构制程场景,整机搭载超高效率离子过滤硬件模块实现粒子能量精准管控。依托离子过滤精密能量调控核心技术,兼容硅、介质、金属多类薄膜刻蚀及 3D 横向刻蚀工艺,达成超高刻蚀选择比,实现底层/停阶层零等离子损伤,搭配OES Plus监测腔室稳定性,控制刻蚀速率、保障批量工艺一致性。设备实现粒子能量精准可调、超高工艺选择比、底层材料低损伤、批次工艺高重复稳定的核心性能指标,可满足各类高精度刻蚀严苛制程要求。

  • 产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络
  • 等离子刻蚀设备 Etch
  • 物理气相沉积设备 PVD
  • 化学气相沉积设备 CVD
  • 立式炉管设备 Vertical Furnace
  • 离子注入设备 Implant
产品名称 ACE E300 高选择比刻蚀机
产品系列 企业级IT产品
官方介绍 ACE E300 高选择比刻蚀机 ACE E300 High Selectivity Etcher ACE E300 刻蚀设备面向12英寸后摩尔时代逻辑芯片与 3D 结构制程场景,整机搭载超高效率离子过滤硬件模块实现粒子能量精准管控。依托离子过滤精密能量调控核心技术,兼容硅、介质、金属多类薄膜刻蚀及 3D 横向刻蚀工艺,达成超高刻蚀选择比,实现底层/停阶层零等离子损伤,搭配OES Plus监测腔室稳定性,控制刻蚀速率、保障批量工艺一致性。设备实现粒子能量精准可调、超高工艺选择比、底层材料低损伤、批次工艺高重复稳定的核心性能指标,可满足各类高精度刻蚀严苛制程要求。
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产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络
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设备特点 配备超高效率离子过滤技术,精准调控反应粒子能量分布。 超高刻蚀选择比,实现底层/停阶层敏感材料的零损伤。 精确刻蚀速率控制保障产线良率。 配备OES Plus监测腔室稳定性,确保批次运行的高重复性。
产品应用 晶圆尺寸 12" 适用领域 集成电路 适用工艺 硅刻蚀、多晶硅刻蚀、浅槽隔离刻蚀、Low-k刻蚀 适用材料 硅、氧化硅、氮化硅
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办公地址 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
产品特点 产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络
产品特点 等离子刻蚀设备 Etch
产品特点 物理气相沉积设备 PVD
产品特点 化学气相沉积设备 CVD
产品特点 立式炉管设备 Vertical Furnace
产品特点 离子注入设备 Implant
资料来源 企业官网产品页 https://www.naura.com/product/details_15_2469.html
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北方华创 ACE E300 高选择比刻蚀机

核心参数

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  • 产品名称ACE E300 高选择比刻蚀机
  • 产品系列企业级IT产品
  • 官方介绍ACE E300 高选择比刻蚀机 ACE E300 High Selectivity Etcher ACE E300 刻蚀设备面向12英寸后摩尔时代逻辑芯片与 3D 结构制程场景,整机搭载超高效率离子过滤硬件模块实现粒子能量精准管控。依托离子过滤精密能量调控核心技术,兼容硅、介质、金属多类薄膜刻蚀及 3D 横向刻蚀工艺,达成超高刻蚀选择比,实现底层/停阶层零等离子损伤,搭配OES Plus监测腔室稳定性,控制刻蚀速率、保障批量工艺一致性。设备实现粒子能量精准可调、超高工艺选择比、底层材料低损伤、批次工艺高重复稳定的核心性能指标,可满足各类高精度刻蚀严苛制程要求。
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北方华创是企业IT与信创领域的企业,官方网站为 https://www.naura.com/。本页企业信息与产品参数均采…

常见问题

北方华创 ACE E300 高选择比刻蚀机 是什么产品?

北方华创 ACE E300 高选择比刻蚀机 是北方华创的产品,属于企业级IT产品类别。它的定位是:ACE E300 高选择比刻蚀机 ACE E300 High Selectivity Etcher ACE E300 …。本页收录 21 项官方参数。

和 ACE E300 高选择比刻蚀机 同类的产品还有哪些?

本站企业级IT产品分类下还有 北方华创 iTops i233 PVD ITO溅射系统、北方华创 GSE C200 多功能刻蚀机、北方华创 BMD P300 微波等离子体表面处理系统、北方华创 HSE D300 等离子切割刻蚀机 等型号,都可以在产品库里按参数逐项对比。共收录该类产品 333 款。

ACE E300 高选择比刻蚀机 多少钱?

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ACE E300 高选择比刻蚀机 的参数从哪里来的?

参数逐项摘自www.naura.com 的官方产品页,本站只做字段整理与分类归并,不改写数值。页面底部标注了来源链接与更新时间(2026-11-08)。

北方华创 ACE E300 高选择比刻蚀机 是哪家公司的产品?

北方华创 ACE E300 高选择比刻蚀机 由北方华创推出,官方型号写作 ACE E300 高选择比刻蚀机。厂商官网:https://www.naura.com/。

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