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北方华创 ACE E300Ge 高选择比刻蚀机
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北方华创 ACE E300Ge 高选择比刻蚀机

设备特点 配备立体高密度等离子源以及超高效率离子过滤技术，精准调控反应粒子能量分布。 更高刻蚀选择比，刻蚀材料宽泛。 极高的材料选择比可大幅减掩膜厚度，有效简化前后道制程工序。 配备OES Plus监测腔室稳定性，确保批次运行的高重复性。 产品应用 晶圆尺寸 12" 适用领域 集成电路 适用工艺 横向刻蚀，表面损伤层处理，氮化钛刻蚀 适用材料 硅、氧化硅、氮化硅、氮化钛、钨、氧化铪 分享我们： 微

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北方华创

北方华创是企业IT与信创领域的企业，官方网站为 https://www.naura.com/。本页企业信息与产品参数均采自该企业官网公开页面，并在参数表末尾标注「资料来源」；未经多源核实的工商注册字段一律留空，不做推测。 官网自述：七星电子更名为北方华创科技集团股份有限公司，完成了内部业务及资产的整合，推出全新品牌“北方华创”（NAURA），形成了以北方华创科技集团股份有限公司为总部，下属北京北方华创微电子装备有限公司、北京北方华创真空技术有限公司……

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