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北方华创 ACE E300Ge 高选择比刻蚀机
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北方华创 ACE E300Ge 高选择比刻蚀机

设备特点 配备立体高密度等离子源以及超高效率离子过滤技术，精准调控反应粒子能量分布。 更高刻蚀选择比，刻蚀材料宽泛。 极高的材料选择比可大幅减掩膜厚度，有效简化前后道制程工序。 配备OES Plus监测腔室稳定性，确保批次运行的高重复性。 产品应用 晶圆尺寸 12" 适用领域 集成电路 适用工艺 横向刻蚀，表面损伤层处理，氮化钛刻蚀 适用材料 硅、氧化硅、氮化硅、氮化钛、钨、氧化铪 分享我们： 微

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北方华创 ACE E300Ge 高选择比刻蚀机 产品图 1
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