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北方华创 NMC 612E系列 12英寸ICP刻蚀机
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北方华创 NMC 612E系列 12英寸ICP刻蚀机

NMC 612E系列 12英寸ICP刻蚀机 NMC 612E Series 12 Inch ICP Etcher NMC612E系列是应用于12英寸等离子体干法刻蚀设备。该设备具有更灵活的脉冲等离子体控制技术，实现对等离子成分和离子能量的精确调控，能够实现更小尺寸、更高深宽比刻蚀的精准形貌控制能力，并配备多区温控静电吸附卡盘，实现更精确的温度控制；同时具备高均一气流场控制系统及灵活气流场分布调节能

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北方华创是企业IT与信创领域的企业，官方网站为 https://www.naura.com/。本页企业信息与产品参数均采自该企业官网公开页面，并在参数表末尾标注「资料来源」；未经多源核实的工商注册字段一律留空，不做推测。 官网自述：七星电子更名为北方华创科技集团股份有限公司，完成了内部业务及资产的整合，推出全新品牌“北方华创”（NAURA），形成了以北方华创科技集团股份有限公司为总部，下属北京北方华创微电子装备有限公司、北京北方华创真空技术有限公司……

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