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企业级IT与信创国产化深度观察 | 大观视界

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北方华创 Polaris系列 12英寸背面金属物理气相沉积系统
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北方华创 Polaris系列 12英寸背面金属物理气相沉积系统

设备特点 独特的磁控溅射源和腔室结构的设计有效提高靶材利用率 灵活的腔室配置，优化的工艺流程带来大产能表现，低运营成本 针对功率半导体领域优化、稳定的传输系统，兼容翘曲片、键合片、薄片等多种类型基片传输 良好的颗粒和应力控制能力 产品应用 晶圆尺寸 12 英寸 适用材料 铝、镍钒、银、钛 适用工艺 背面金属化工艺 分享我们： 微信扫一扫

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北方华创

北方华创是企业IT与信创领域的企业，官方网站为 https://www.naura.com/。本页企业信息与产品参数均采自该企业官网公开页面，并在参数表末尾标注「资料来源」；未经多源核实的工商注册字段一律留空，不做推测。 官网自述：七星电子更名为北方华创科技集团股份有限公司，完成了内部业务及资产的整合，推出全新品牌“北方华创”（NAURA），形成了以北方华创科技集团股份有限公司为总部，下属北京北方华创微电子装备有限公司、北京北方华创真空技术有限公司……

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