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北方华创 Polaris系列 12英寸背面金属物理气相沉积系统
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北方华创 Polaris系列 12英寸背面金属物理气相沉积系统

设备特点 独特的磁控溅射源和腔室结构的设计有效提高靶材利用率 灵活的腔室配置，优化的工艺流程带来大产能表现，低运营成本 针对功率半导体领域优化、稳定的传输系统，兼容翘曲片、键合片、薄片等多种类型基片传输 良好的颗粒和应力控制能力 产品应用 晶圆尺寸 12 英寸 适用材料 铝、镍钒、银、钛 适用工艺 背面金属化工艺 分享我们： 微信扫一扫

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北方华创 Polaris系列 12英寸背面金属物理气相沉积系统 产品图 1
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