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北方华创 Scaler HK430 热原子层沉积系统
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北方华创 Scaler HK430 热原子层沉积系统

Scaler HK430 热原子层沉积系统 Scaler HK430 Thermal ALD System Scaler HK430主要用于12英寸高介电常数材料薄膜的沉积工艺。设备能够实现优异的工艺稳定性控制，达成更好的薄膜沉积均匀性及优异的颗粒控制表现。在结构系统方面，采用每腔单片式设计，在气流场均匀性、温度控制等方面表现优异，单片工艺结果一致性大幅提高；在软件方面，通过全自动流程及相关数据监

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北方华创

北方华创是企业IT与信创领域的企业，官方网站为 https://www.naura.com/。本页企业信息与产品参数均采自该企业官网公开页面，并在参数表末尾标注「资料来源」；未经多源核实的工商注册字段一律留空，不做推测。 官网自述：七星电子更名为北方华创科技集团股份有限公司，完成了内部业务及资产的整合，推出全新品牌“北方华创”（NAURA），形成了以北方华创科技集团股份有限公司为总部，下属北京北方华创微电子装备有限公司、北京北方华创真空技术有限公司……

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