北方华创 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机
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北方华创 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机

Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 Accura NZ 12 Inch Dielectric Etcher 机台主要应用于12英寸介质刻蚀尤其是高深宽比介质刻蚀,典型的应用场景为3D NAND G5及以上高深宽比channel hole刻蚀。机台配备大功率的高频、低频射频电源,实现在高等离子体密度的同时具有极强的各向异性刻蚀能力;搭配边缘等离子体调节系统(PEA)、4zone 磁场线圈,满足整

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北方华创 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 是北方华创的企业级IT产品,主要配置为产品名称 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机;产品系列 企业级IT产品;官方介绍 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 Accura NZ 12 …。本页收录 21 项官方参数,可逐项查看规格、图片、相关…

Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 Accura NZ 12 Inch Dielectric Etcher 机台主要应用于12英寸介质刻蚀尤其是高深宽比介质刻蚀,典型的应用场景为3D NAND G5及以上高深宽比channel hole刻蚀。机台配备大功率的高频、低频射频电源,实现在高等离子体密度的同时具有极强的各向异性刻蚀能力;搭配边缘等离子体调节系统(PEA)、4zone 磁场线圈,满足整个晶圆图案的垂直刻蚀一致性;多区静电卡盘氦冷系统、三区进气、tuning gas 模块保证刻蚀结果达到较高的均匀性。

  • 产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络
  • 等离子刻蚀设备 Etch
  • 物理气相沉积设备 PVD
  • 化学气相沉积设备 CVD
  • 立式炉管设备 Vertical Furnace
  • 离子注入设备 Implant
产品名称 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机
产品系列 企业级IT产品
官方介绍 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 Accura NZ 12 Inch Dielectric Etcher 机台主要应用于12英寸介质刻蚀尤其是高深宽比介质刻蚀,典型的应用场景为3D NAND G5及以上高深宽比channel hole刻蚀。机台配备大功率的高频、低频射频电源,实现在高等离子体密度的同时具有极强的各向异性刻蚀能力;搭配边缘等离子体调节系统(PEA)、4zone 磁场线圈,满足整个晶圆图案的垂直刻蚀一致性;多区静电卡盘氦冷系统、三区进气、tuning gas 模块保证刻蚀结果达到较高的均匀性。
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设备特点 超高深宽比介质刻蚀能力 精确的深孔形貌控制 快速静电吸盘高低温切换技术 射频加磁场鞘层调节能力 优异的产能、生产稳定性、MTBC
产品应用 晶圆尺寸 12英寸 适用材料 氧化硅、氮化硅及其叠层 适用工艺 高深宽比介质刻蚀 适用领域 集成电路
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办公地址 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
产品特点 产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络
产品特点 等离子刻蚀设备 Etch
产品特点 物理气相沉积设备 PVD
产品特点 化学气相沉积设备 CVD
产品特点 立式炉管设备 Vertical Furnace
产品特点 离子注入设备 Implant
资料来源 企业官网产品页 https://www.naura.com/product/details_15_2455.html
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北方华创 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机

核心参数

全部 21 项 →
  • 产品名称Accura NZ 12英寸介质刻蚀机
  • 产品系列企业级IT产品
  • 官方介绍Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 Accura NZ 12 Inch Dielectric Etcher 机台主要应用于12英寸介质刻蚀尤其是高深宽比介质刻蚀,典型的应用场景为3D NAND G5及以上高深宽比channel hole刻蚀。机台配备大功率的高频、低频射频电源,实现在高等离子体密度的同时具有极强的各向异性刻蚀能力;搭配边缘等离子体调节系统(PEA)、4zone 磁场线圈,满足整个晶圆图案的垂直刻蚀一致性;多区静电卡盘氦冷系统、三区进气、tuning gas 模块保证刻蚀结果达到较高的均匀性。
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厂商信息

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北方华创

北方华创是企业IT与信创领域的企业,官方网站为 https://www.naura.com/。本页企业信息与产品参数均采…

常见问题

北方华创 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 是什么产品?

北方华创 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 是北方华创的产品,属于企业级IT产品类别。它的定位是:Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 Accura NZ 12 Inch Dielectric Etcher 机台主…。本页收录 21 项官方参数。

和 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 同类的产品还有哪些?

本站企业级IT产品分类下还有 北方华创 iTops i233 PVD ITO溅射系统、北方华创 GSE C200 多功能刻蚀机、北方华创 BMD P300 微波等离子体表面处理系统、北方华创 HSE D300 等离子切割刻蚀机 等型号,都可以在产品库里按参数逐项对比。共收录该类产品 333 款。

Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 多少钱?

本站不提供报价。Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 的价格随机型配置、采购渠道和项目规模浮动,建议到北方华创官网或授权经销商询价。本站只整理公开的官方参数,供选型比对使用。

Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 的参数从哪里来的?

参数逐项摘自www.naura.com 的官方产品页,本站只做字段整理与分类归并,不改写数值。页面底部标注了来源链接与更新时间(2026-11-08)。

北方华创 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 是哪家公司的产品?

北方华创 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 由北方华创推出,官方型号写作 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机。厂商官网:https://www.naura.com/。

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