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北方华创 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机
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北方华创 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机

Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 Accura NZ 12 Inch Dielectric Etcher 机台主要应用于12英寸介质刻蚀尤其是高深宽比介质刻蚀，典型的应用场景为3D NAND G5及以上高深宽比channel hole刻蚀。机台配备大功率的高频、低频射频电源，实现在高等离子体密度的同时具有极强的各向异性刻蚀能力；搭配边缘等离子体调节系统（PEA）、4zone 磁场线圈，满足整

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北方华创

北方华创是企业IT与信创领域的企业，官方网站为 https://www.naura.com/。本页企业信息与产品参数均采自该企业官网公开页面，并在参数表末尾标注「资料来源」；未经多源核实的工商注册字段一律留空，不做推测。 官网自述：七星电子更名为北方华创科技集团股份有限公司，完成了内部业务及资产的整合，推出全新品牌“北方华创”（NAURA），形成了以北方华创科技集团股份有限公司为总部，下属北京北方华创微电子装备有限公司、北京北方华创真空技术有限公司……

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