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Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 Accura NZ 12 Inch Dielectric Etcher 机台主要应用于12英寸介质刻蚀尤其是高深宽比介质刻蚀,典型的应用场景为3D NAND G5及以上高深宽比channel hole刻蚀。机台配备大功率的高频、低频射频电源,实现在高等离子体密度的同时具有极强的各向异性刻蚀能力;搭配边缘等离子体调节系统(PEA)、4zone 磁场线圈,满足整