北方华创 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机
北方华创 企业级IT产品 e企观

北方华创 Accura NZ 12英寸介质刻蚀机

Accura NZ 12英寸介质刻蚀机 Accura NZ 12 Inch Dielectric Etcher 机台主要应用于12英寸介质刻蚀尤其是高深宽比介质刻蚀,典型的应用场景为3D NAND G5及以上高深宽比channel hole刻蚀。机台配备大功率的高频、低频射频电源,实现在高等离子体密度的同时具有极强的各向异性刻蚀能力;搭配边缘等离子体调节系统(PEA)、4zone 磁场线圈,满足整

产品图

共 1 张
免责声明本页信息整理自互联网公开渠道,仅供资讯参考,不构成任何投资或商业决策依据;相关产品参数、企业信息可能存在滞后或误差,请以厂商官方发布为准。如内容涉及版权、准确性或侵权问题,请联系 981209856@qq.com,我们将第一时间核实处理。