北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机
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北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机

设备特点 搭载先进的气体流场腔室架构,内置自研高精密关键参数动态调节(Ramp)功能。 完美兼容 Bosch/Non-Bosch 双工艺,实现超高深宽比微纳结构形貌控制,具备极致的低 Scallop(侧壁粗糙度)、高刻蚀速率以及优越的底角(Footing/Notch)控制能力。 优化的反应腔流场设计实现片内与片间的均匀性,缩短辅助工艺耗时,提升量产的单晶圆综合产出。 具备极高重复性与工艺稳定性,依

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北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机 是北方华创的企业级IT产品,主要配置为产品名称 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机;产品系列 企业级IT产品;官方介绍 设备特点 搭载先进的气体流场腔室架构,内置自研高精密关键参数动态调…。本页收录 19 项官方参数,可逐项查看规格、图…

设备特点 搭载先进的气体流场腔室架构,内置自研高精密关键参数动态调节(Ramp)功能。 完美兼容 Bosch/Non-Bosch 双工艺,实现超高深宽比微纳结构形貌控制,具备极致的低 Scallop(侧壁粗糙度)、高刻蚀速率以及优越的底角(Footing/Notch)控制能力。 优化的反应腔流场设计实现片内与片间的均匀性,缩短辅助工艺耗时,提升量产的单晶圆综合产出。 具备极高重复性与工艺稳定性,依托本土化专家团队提供现场快速响应服务。 产品应用 晶圆尺寸 12" 适用领域 集成电路、先进封装、新兴应用与科研领域设备 适用工艺 深硅刻蚀、深槽隔离/电容刻蚀、功率硅沟槽刻蚀、高精度MEMS刻蚀、高深宽比槽刻蚀 适用材料 硅、氧化硅、氮化硅 分享我们: 微信扫一扫

  • 产品&服务 半导体装备 真空新能源装备 精密元器件 服务网络
  • 等离子刻蚀设备 Etch
  • 物理气相沉积设备 PVD
  • 化学气相沉积设备 CVD
  • 立式炉管设备 Vertical Furnace
  • 离子注入设备 Implant
产品名称 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机
产品系列 企业级IT产品
官方介绍 设备特点 搭载先进的气体流场腔室架构,内置自研高精密关键参数动态调节(Ramp)功能。 完美兼容 Bosch/Non-Bosch 双工艺,实现超高深宽比微纳结构形貌控制,具备极致的低 Scallop(侧壁粗糙度)、高刻蚀速率以及优越的底角(Footing/Notch)控制能力。 优化的反应腔流场设计实现片内与片间的均匀性,缩短辅助工艺耗时,提升量产的单晶圆综合产出。 具备极高重复性与工艺稳定性,依托本土化专家团队提供现场快速响应服务。 产品应用 晶圆尺寸 12" 适用领域 集成电路、先进封装、新兴应用与科研领域设备 适用工艺 深硅刻蚀、深槽隔离/电容刻蚀、功率硅沟槽刻蚀、高精度MEMS刻蚀、高深宽比槽刻蚀 适用材料 硅、氧化硅、氮化硅 分享我们: 微信扫一扫
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资料来源 企业官网产品页 https://www.naura.com/product/details_15_2475.html
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北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机

核心参数

全部 19 项 →
  • 产品名称PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机
  • 产品系列企业级IT产品
  • 官方介绍设备特点 搭载先进的气体流场腔室架构,内置自研高精密关键参数动态调节(Ramp)功能。 完美兼容 Bosch/Non-Bosch 双工艺,实现超高深宽比微纳结构形貌控制,具备极致的低 Scallop(侧壁粗糙度)、高刻蚀速率以及优越的底角(Footing/Notch)控制能力。 优化的反应腔流场设计实现片内与片间的均匀性,缩短辅助工艺耗时,提升量产的单晶圆综合产出。 具备极高重复性与工艺稳定性,依托本土化专家团队提供现场快速响应服务。 产品应用 晶圆尺寸 12" 适用领域 集成电路、先进封装、新兴应用与科研领域设备 适用工艺 深硅刻蚀、深槽隔离/电容刻蚀、功率硅沟槽刻蚀、高精度MEMS刻蚀、高深宽比槽刻蚀 适用材料 硅、氧化硅、氮化硅 分享我们: 微信扫一扫
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北方华创是企业IT与信创领域的企业,官方网站为 https://www.naura.com/。本页企业信息与产品参数均采…

常见问题

北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机 是什么产品?

北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机 是北方华创的产品,属于企业级IT产品类别。它的定位是:设备特点 搭载先进的气体流场腔室架构,内置自研高精密关键参数动态调节(Ramp)功能。 完美兼容 Bosch/Non-…。本页收录 19 项官方参数。

和 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机 同类的产品还有哪些?

本站企业级IT产品分类下还有 北方华创 iTops i233 PVD ITO溅射系统、北方华创 GSE C200 多功能刻蚀机、北方华创 BMD P300 微波等离子体表面处理系统、北方华创 HSE D300 等离子切割刻蚀机 等型号,都可以在产品库里按参数逐项对比。共收录该类产品 333 款。

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北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机 是哪家公司的产品?

北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机 由北方华创推出,官方型号写作 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机。厂商官网:https://www.naura.com/。

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