北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机
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北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机

设备特点 搭载先进的气体流场腔室架构,内置自研高精密关键参数动态调节(Ramp)功能。 完美兼容 Bosch/Non-Bosch 双工艺,实现超高深宽比微纳结构形貌控制,具备极致的低 Scallop(侧壁粗糙度)、高刻蚀速率以及优越的底角(Footing/Notch)控制能力。 优化的反应腔流场设计实现片内与片间的均匀性,缩短辅助工艺耗时,提升量产的单晶圆综合产出。 具备极高重复性与工艺稳定性,依

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北方华创是企业IT与信创领域的企业,官方网站为 https://www.naura.com/。本页企业信息与产品参数均采自该企业官网公开页面,并在参数表末尾标注「资料来源」;未经多源核实的工商注册字段一律留空,不做推测。 官网自述:七星电子更名为北方华创科技集团股份有限公司,完成了内部业务及资产的整合,推出全新品牌“北方华创”(NAURA),形成了以北方华创科技集团股份有限公司为总部,下属北京北方华创微电子装备有限公司、北京北方华创真空技术有限公司……

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