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北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机
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北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机

设备特点 搭载先进的气体流场腔室架构，内置自研高精密关键参数动态调节（Ramp）功能。 完美兼容 Bosch/Non-Bosch 双工艺，实现超高深宽比微纳结构形貌控制，具备极致的低 Scallop（侧壁粗糙度）、高刻蚀速率以及优越的底角（Footing/Notch）控制能力。 优化的反应腔流场设计实现片内与片间的均匀性，缩短辅助工艺耗时，提升量产的单晶圆综合产出。 具备极高重复性与工艺稳定性，依

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北方华创 PSE V300(Gi) 高精度深硅刻蚀机 产品图 1
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